HIMAWAN, H. M. SIMULASI DAN ANALISA MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS PIEZOCERAMIC TUBE UNTUK PENGUKURAN ALIRAN ULTRASONIC. INVOTEK: Jurnal Inovasi Vokasional dan Teknologi, [S. l.], v. 17, n. 1, p. 41–48, 2017. DOI: 10.24036/invotek.v17i1.27. Disponível em: http://invotek.ppj.unp.ac.id/index.php/invotek/article/view/27. Acesso em: 25 jul. 2026.