Himawan, H. “SIMULASI DAN ANALISA MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS PIEZOCERAMIC TUBE UNTUK PENGUKURAN ALIRAN ULTRASONIC”. INVOTEK: Jurnal Inovasi Vokasional Dan Teknologi, Vol. 17, no. 1, Apr. 2017, pp. 41-48, doi:https://doi.org/10.24036/invotek.v17i1.27.