Himawan H. SIMULASI DAN ANALISA MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS PIEZOCERAMIC TUBE UNTUK PENGUKURAN ALIRAN ULTRASONIC. INVOTEK: Jurnal Inovasi Vokasional dan Teknologi [Internet]. 10Apr.2017 [cited 18Apr.2024];17(1):41-8. Available from: http://invotek.ppj.unp.ac.id/index.php/invotek/article/view/27